标签： 无尘直线电机

直线电机可以根据牛顿第二定律驱动的较大负载，F=ma，所以力与质量和加速度成正比，因此如果克服了摩擦力，大的负载也能用小的力驱动，直线电机的推力和加速度共同决定的。

 直线电机适用无尘室。实际上，诸多前端半导体运用都采用直线电机。例如，在晶圆制造厂，将高精度光刻机放置在10级洁净室中，将直线电机用于XY定位平台，借助纳米分辨率实现亚微米精度，很多运用，如半导体后端封装、测试、拾取、放置和硬盘组装和测试，都在洁净室中运行。