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直线电机都有哪些问题

摘要: 直线电机适用无尘室。实际上,诸多前端半导体运用都采用直线电机。例如,在晶圆制造厂,将高精度光刻机放置在10级洁净室中,将直线电机用于XY定位平台,借助纳米分辨率实现亚微米精度,很多运用,如半导体后端封装、测试、拾取、放置和硬盘组装和测试,都在洁净室中运行。

因为直线电机结构紧凑,运行速度快,加速度高,采用直接驱动负载,可以实现高精度定位控制,但是如果环境处理不正确,就会有很多问题,出现问题时,应该怎么解决呢?

当断电时直线电机功率会发生什么变化?

当断电时,直线电机会惯性作用而继续前进,甚至触碰到末端或因为摩擦而停止。一般不是一个情况,却在某种使用中它会是一个难题。

可组装制动装置,在关掉电源时激活该装置,使电机及时停止。制动器一般安装在直线制导系统的导轨上。

洁净室是否可以使用直线电机?

直线电机适用无尘室。实际上,诸多前端半导体运用都采用直线电机。例如,在晶圆制造厂,将高精度光刻机放置在10级洁净室中,将直线电机用于XY定位平台,借助纳米分辨率实现亚微米精度,很多运用,如半导体后端封装、测试、拾取、放置和硬盘组装和测试,都在洁净室中运行。

直线电机的磁场有没有影响?

在有些运用中,害怕直线电机磁场会损坏敏感元件。通常情况下,在有些运用中,推荐用无铁芯的直线电机,漏磁忽略不计。相对于铁芯的直线电机,50-60mm磁道范围内会产生磁场,磁场强度会由于距离的增加而减少。同时相应区域的磁场是恒定的,不产生射频干扰。

标签:直线电机

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